认证与翻新

晶圆制造

Surfscan^® Series

Surfscan^® 无图案晶圆检测系统可识别影响半导体元件性能和可靠性的缺陷及表面质量问题。通过对设备、工艺和材料进行认证和监控，能够迅速找到表面的缺陷，从而支持IC、OEM、材料和晶圆制造。

工艺认证、设备认证、设备监控、出厂晶圆质量控制、入厂晶圆质量控制、光阻和光刻机认证、工艺调试。

Surfscan SP2^XP:

针对≥45nm设计节点技术的无图案晶圆检测系统

Surfscan SP2:

针对≥65nm设计节点技术的无图案晶圆检测系统

Surfscan SP1^DLS Pro:

针对≥90nm设计节点技术的无图案晶圆检测系统

Surfscan SP1^TBI Pro:

针对≥130nm设计节点技术的无图案晶圆检测系统

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KLA拥有一套适用于先进晶圆制造的综合性缺陷检测和晶圆几何系统，包括附加的 Surfscan^® 无图案晶圆检测系统。